クモハ320-1~16(クモハ320-8)
西明石方の制御電動車です。パンタグラフは搭載されていませんが、台座はあり準備工事となっています。
クモハ320-17~39(クモハ320-38)
このグループより、一部設計変更が行われており、パンタグラフ準備工事などが行われていません。
クモハ321-1~(クモハ321-30)
京都方のパンタグラフ付制御電動車です。パンタグラフは東西線を走るため、2基搭載されています。
モハ320-1~32(モハ320-15)
4号車と6号車に連結される中間電動車です。パンタグラフ準備工事が行われています。他の形式と共通の機器の他、蓄電池を搭載しています。
モハ320-33~(モハ320-76)
第17編成以降はパンタグラフ準備工事が行われていないなどの変化が見られます。
モハ321-1~(モハ321-16)
2号車と5号車に連結されるパンタグラフ付中間電動車です。電動空気圧縮機を搭載しています。
サハ321-1~16(サハ321-14)
3号車に連結される中間付随車です。この形式のみ付随台車のみを履いています。
サハ321-17~39(サハ321-38)
この形式も第17編成以降は電動車化準備工事をやめています。